Amb el desenvolupament de la indústria de semiconductors de la Xina, el desenvolupament de components clau per a equips de procés s'ha convertit en una limitació crítica per al desenvolupament d'equips. A mesura que la crida a la localització de la tecnologia domèstica de semiconductors creix més forta, cada cop es superaran més tecnologies de coll d'ampolla a la indústria dels semiconductors. Basant-se en anys d'experiència en la indústria dels semiconductors, la nostra empresa ha desenvolupat un servomotor d'alta-velocitat d'eix buit-per adsorbir hòsties en equips de recobriment, desenvolupament i neteja de semiconductors. Aquest motor té una alta acceleració, un ampli rang de velocitat i una gran capacitat de resposta, i ha estat àmpliament elogiat pels clients de la indústria.
Aplicacions del servomotor d'-eix buit:
Equips d'exposició i desenvolupament (revestiment, revelat): el principal equip per a processos de fotolitografia, control de recobriment, exposició i revelat.
Equips de neteja, recobriment, revelat i eliminació de pel·lícules.
Adequat per a processos de neteja d'esbandit físic, neteja de partícules i polvorització.
Especificacions del producte i àrees d'aplicació del servomotor d'eix buit:
750 W/1000 W - 5000, 6000 rpm
Àrees d'aplicació (models-de gamma alta):
Equips semiconductors de 8 i 12 polzades.
Processos com el recobriment, el revelat, la neteja i el gravat.
L'acceleració màxima pot arribar a 50.000 R/S² d'acceleració instantània.
El disseny especial de l'extrem de l'eix garanteix el coeficient d'extrem de càrrega més baix de l'eix.
